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| 真空泵 | 按工作原理分 | 气体输送泵 | 变容真空泵 | 往复式 | ||
| 旋片式 | 油封式 | 旋片式 | ||||
| 滑阀式 | ||||||
| 定片式 | ||||||
| 余摆线式 | ||||||
| 多室旋片式 | ||||||
| 干式螺杆 | ||||||
| 液环式 | ||||||
| 罗茨真空泵 | ||||||
| 动量传输泵 | 分子真空泵 | 牵引分子泵 | ||||
| 涡轮分子泵 | ||||||
| 复合分子泵 | ||||||
| 喷射真空泵 | 液体喷射真空泵 | |||||
| 气体喷射真空泵 | ||||||
| 蒸汽喷射真空泵 | ||||||
| 扩散泵 | 自净化扩散泵 | |||||
| 分馏式扩散泵 | ||||||
| 扩散喷射泵 | ||||||
| 离子输运泵 | ||||||
| 气体捕集泵 | 吸附泵 | |||||
| 吸气剂泵 | ||||||
| 吸气剂离子泵 | 蒸发离子泵 | |||||
| 溅射离子泵 | ||||||
| 低温泵 | ||||||
| 按真空度分 | 粗真空度 | |||||
| 高真空度 | 滑阀式真空泵 | |||||
| 旋片式真空泵 | ||||||
| 罗茨真空泵 | ||||||
| 超高真空度 |
| 参数名称 | 参数定义 |
|---|---|
| 真空泵的极限压强 | 泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。 |
| 真空泵的抽气速率 | 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 |
| 真空泵的抽气量 | 真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。 |
| 真空泵的起动压强 | 真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。 |
| 真空泵的前级压强 | 真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。 |
| 真空泵的最大前级压强 | 真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。 |
| 真空泵的最大工作压强 | 真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 |
| 真空泵的压缩比 | 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 |
| 真空泵的何氏系数 | 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 |
| 真空泵的抽速系数 | 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 |
| 真空泵的返流率 | 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 |
| 水蒸气允许量 | 水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 |
| 最大允许水蒸气入口压强 | 最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。 |
| 测量方式 | 定义 |
|---|---|
| 热偶真空计 | 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。 |
| 电离真空计 | 由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。 |
| 复合真空计 | 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。 |
| 冷阴极电离计 | 阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。 |
| 电阻真空计 | 利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。 |
| 麦克劳真空计 | 也成为压缩式真空计，将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。 |
| 电容薄膜真空计 | 这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点，因而越来越受到人们的重视。以它取代水银压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。 |
